Die erste Massenproduktionsgeräte für die Hydrofluorsäure -Reinigung in China wurde erfolgreich in die Panelfabrik bewegt

Die Hydrofluorsäure -Reinigung ist eine wichtige Verbindung im Anzeigvorgang. Der Reinigungseffekt beeinflusst direkt die endgültige Leistung, Effizienz und Stabilität der Gerätestruktur und hängt mit der Ertragsrate des Endprodukts zusammen. Die Hydrofluorsäure -Reinigung beseitigt nicht nur Verunreinigungen auf der Oberfläche der aktiven Schicht, sondern passt auch die Oberfläche hin, wodurch die Adsorptionskapazität von Grenzflächenverunreinigungen verringert wird. Die Anforderungen an die Oberflächenreinseligkeit sind sehr streng und ermöglichen theoretisch nicht das Vorhandensein von Partikeln, Metallionen oder organischen Klebstoffen. Angefügt, Wasserdampf- und Oxidschichten erfordern die Flachheit auf Atomebene auf der Oberfläche, um die Prozesszuverlässigkeit des Nachbearbeitungsprozesses zu gewährleisten.